Créé le : 03/08/2009
Ils peuvent être classés en quatre grandes catégories. 1) Dépôts nanocristallins, avec des tailles de grains de quelques dizaines de nanomètres, de structure monocouche ou multicouche. 2) Dépôts nanocomposites monocouches à matrice nanocristalline dans laquelle ont précipité des carbures, nitrures, borures. 3) Dépôts nanocomposites multicouches : couches individuelles de quelques dizaines de nm, en séquences de couches nanocristallines/ nanocomposites ou nanocomposites/nanocomposites. 4) Systèmes nanocristallins-amorphe (nc/a) : nanocristaux de carbures, nitrures noyés dans une phase amorphe a-C, a-Si3N4, a-BN.
