Dépôts carbone, diamant, DLC : Une variété de procédés

Créé le : 02/05/2013 - Mis à jour le : 26/06/2013

Les architectures se diversifient selon les besoins: carbone amorphe hydrogéné ou carbone amorphe-chrome pour tribo-corrosion, particules de diamant+DLC ou ZrCN/carbone amorphe pour implants, DLC fluoré pour biocompatibilité, W-DLC pour tribologie haute température. Un équipement à double cible avec curseur d’obturation permet de faire varier les ratios de pulvérisation.